产品特征:晶圆级别量产;;X和Y方向 周期精度 <0.3μm,无累计误差;125、250 微米直径的单模、多模和保偏光纤兼容
产品应用:集成光学器件尾纤、平面波导器件连接、有源器件光纤阵列连接、器件和小型化光器件连接、DWDM 和多通道器件构建。
| Item 项目 | Value 数值 | Precision tolerance 精度公差 | 
| Material 材质 | Silicon | - | 
| Fiber Core diameter 光纤芯径 | 40um, 80um, 127um | - | 
| Channel numer 通道数 | 12CH, 16CH, 20CH, 32CH, 48CH, 64CH, 96CH, 128CH, 154CH | ±0.3um | 
| Channel Pitch 通道间距 | 127um, 250um, 500um | ±0.3um | 
| 其他尺寸及公差可按客户要求生产 | ||